Abstract
本發明提供了一種用於光學表徵的智能自適應波前測量系統,系統能夠獲得待測樣品的光學參數,系統包括沿軸向依次排列的光源、剪切生成器和光電耦合裝置,其中,剪切生成器包括沿所述軸向依次排列的空間光調製器和相位差微透鏡陣列。此外,還提供了相應的方法及其在仿真環境下的訓練方法,使得基於機器學習的自適應技術將被用於空間光調製器的波前調製。
Original language | Chinese (Simplified) |
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Patent number | 30085210 |
Filing date | 16/05/23 |
Publication status | Published - 2024 |