对工件进行批量抛光的装置和方法

Chunjin Wang (Inventor), Chi Fai Cheung (Inventor), Lai Ting Ho (Inventor), Kin Leung Chan (Inventor), Yee Man Kristy Loh (Inventor)

Research output: Patents, agreements, assignments and companiesPatents granted

Abstract

提供了一种抛光装置,该装置包括,抛光容器(7),用于容纳抛光液;盖部件(6),能够封闭所述抛光容器(7)的上部开口;恒星齿轮(4),可转动地固定在所述盖部件(6)上;多个行星齿轮(5),可转动地固定在所述盖部件(6)上并与所述恒星齿轮(4)啮合;其中,所述恒星齿轮(4)和每个行星齿轮(5)能够升降,当所述恒星齿轮(4)和每个行星齿轮(5)被升起后,每个行星齿轮(5)的转动轴的末端能够可拆卸地固定待抛光的工件;在所述恒星齿轮(4)和每个行星齿轮(5)被下降时,所述工件能够被浸入所述抛光容器(7)中的抛光液中;其中,当恒星齿轮(4)转动时,带动与之啮合的各个行星齿轮(5)同时自转,从而使固定在各个行星齿轮(5)的转轴末端的工件(16)在所述抛光液中自转,从而被抛光液抛光。
Original languageChinese (Simplified)
Patent numberZL202121521324.1
Filing date6/07/21
Publication statusPublished - 4 Mar 2022

Cite this