Abstract
本发明适用于气体测量传感装置技术领域,提供了一种气体浓度传感器和气体浓度检测装置,气体浓度传感器包括入射波导和反射元件,入射波导与反射元件对接形成光纤珐珀干涉仪,入射波导和反射元件两相对端面的间隙不高于500μm。待测气体填充至光纤珐珀干涉仪后,将探测光和泵浦光输入光纤珐珀干涉仪内,扫描泵浦光的波长经过待测气体的吸收线,产生光热相位调制,通过解调探测光相位信息,获得待测气体的浓度。本申请传感器体积小,结构简单,稳定性好,气体检测响应速度快,能够实现十亿分之一量级的气体浓度检测下限。
| Original language | Chinese (Simplified) |
|---|---|
| Patent number | ZL202210988814.5 |
| Filing date | 18/08/22 |
| Publication status | Published - 2026 |
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